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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管

  • 產(chǎn)品型號：SVCS
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管 臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅；用于沉積高品質(zhì)的低應(yīng)力氮化硅或氮氧化硅。
詳情介紹：

臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管






產(chǎn)品簡介

用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅；用于沉積高品質(zhì)的低應(yīng)力氮化硅或氮氧化硅。



主要技術(shù)指標(biāo)

    爐管1：N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉積工藝

氣體：高純N2、SiH4、PH3

    爐管2：低應(yīng)力氮化硅，氮氧化硅薄膜

氣體：高純N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

    溫度：700-900 °C

    硅片尺寸：3英寸、4英寸、6英寸圓片；50片/爐

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