探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制

設(shè)備規(guī)格

序號(hào)

尺寸

4英寸/6英寸

1

水平旋轉(zhuǎn)

可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

2

X-Y移動(dòng)行程

2英寸*3英寸

3

X-Y移動(dòng)精度

10微米

4

樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

5

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

6

針座平臺(tái)

左右各一個(gè)針座平臺(tái)，zui多可放置6個(gè)探針座

7

背電極測(cè)試

樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

8

外形尺寸

400mm長(zhǎng)*380mm寬*500mm高

9

重量

約20千克

光學(xué)系統(tǒng)

1

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

2

放大倍率

16X-200X

3

移動(dòng)行程

水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

4

光源

外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

5

CCD

200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

定位器

1

X-Y-Z移動(dòng)行程

12mm*12mm*12mm

2

移動(dòng)精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

3

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

4

線纜

同軸線/三軸線

5

漏電精度

10pA/100fA/10fA

6

固定探針

彈簧固定/管狀固定

7

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

8

針尖直徑

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

9

針尖材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

可選附件

1

加熱臺(tái)

2

顯示器

3

轉(zhuǎn)接頭

4

射頻測(cè)試配件

5

屏蔽箱

6

光學(xué)平臺(tái)

7

鍍金卡盤

8

光電測(cè)試配件